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更新時(shí)間：2022-04-13 
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日本SMC氟樹脂氣管高純化學(xué)試劑
日本SMC氟樹脂氣管由含氟原子的單體通過均聚或共聚反應(yīng)而成，目前使用中的氟樹脂品種主要有聚四氟乙烯（PTFE）、聚三氟氯乙烯（PCTFE）、聚偏氟乙烯（PVDF）、聚氟乙烯（PVF）、四氟乙烯－六氟丙烯共聚物（FEP）、乙烯－三氟氯乙烯共聚物（ECTFE）、乙烯－四氟乙烯共聚物（ETFE）和四氟乙烯－全氟烷基乙烯基醚共聚物（PFA）。在濕電子化學(xué)品生產(chǎn)領(lǐng)域應(yīng)用的氟樹脂主要為PTFE和PFA。
PTFE樹脂占所有氟塑材料應(yīng)用的70%左右，由于其的分子結(jié)構(gòu)，使材料具有優(yōu)異的耐腐蝕性，耐酸抗堿、抗大部分溶劑的特點(diǎn)。同時(shí)，PTFE具有耐低溫和相對(duì)高溫的特點(diǎn)，工作溫度范圍可達(dá)到-80℃~200℃。
PFA為四氟乙烯和全氟丙基乙烯基醚（FVE）的共聚物，分子結(jié)構(gòu)與PTFE十分接近，很多性能也非常接近。最大的不同是，PFA可以熔融加工、注塑、擠出等，所以PFA又稱為可熔性PTFE。
日本SMC氟樹脂氣管在與高純化學(xué)試劑接觸時(shí)，幾乎沒有不純物質(zhì)的溶出，且耐腐蝕性優(yōu)異，具備長(zhǎng)期使用也能保持純度的優(yōu)異特性。在應(yīng)用于超凈高純化學(xué)試劑的氟樹脂中，尤其以PTFE與PFA最為廣泛，其耐腐蝕性更加優(yōu)異，耐蝕高純化學(xué)試劑的品種更加廣泛。
對(duì)于日本SMC氟樹脂氣管（PTFE和PFA）的指標(biāo)要求主要包括樹脂使用和制造的技術(shù)要求。
1.樹脂使用技術(shù)要求
①金屬離子的析出：SEMI3及以上的超凈高純化學(xué)品中，其產(chǎn)品在包裝儲(chǔ)運(yùn)和使用過程中，單項(xiàng)金屬離子要求保持在ppb甚至ppt級(jí)的水平。因此，對(duì)預(yù)期接觸的所有材料必須也保持相應(yīng)技術(shù)水平，保證無過量金屬離子析出。
②顆粒數(shù)持續(xù)增長(zhǎng)：若樹脂材料的在分子水平上出現(xiàn)過量的分子斷裂或者溶出，會(huì)導(dǎo)致在電路濕制程當(dāng)中引起大量產(chǎn)品污染和線路缺陷。
③小分子滲透：超凈高純化學(xué)試劑分子量一般相對(duì)較小，滲透性強(qiáng)。而樹脂在生產(chǎn)中容易出現(xiàn)大分子間隙，導(dǎo)致分子溢出，可能會(huì)對(duì)儲(chǔ)運(yùn)設(shè)施外層金屬產(chǎn)生微量腐蝕，而微量的腐蝕污染足以導(dǎo)致產(chǎn)品失效。
日本SMC氟樹脂氣管技術(shù)要求：
①材質(zhì)的純凈度，保證不對(duì)產(chǎn)品造成二次污染；
②樹脂聚合中分子量分布盡可能的窄；
③聚合過程中支鏈的控制技術(shù)；
④功能添加劑的選擇穩(wěn)定性和溢出控制。
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